[Titanium Sublimation Combination Ion Pumps TSP] VacIon Plus 300 콤비 펌프
CombiTSP 300은 VacIon 300L/s 펌프, TSP 카트리지 및 TSP 극저온패널을 통합해 풋프린트는 그대로 유지하면서 펌핑 속도를 높입니다. TSP 카트리지의 게터링 속성 덕분에 초고 및 고진공(UHV/XHV) 상태로의 펌프 다운 속도가 단축되기 때문에 최종 기본 압력을 낮출 수 있습니다. 극저온패널은 흡수 가능한 가스의 펌핑 효율성을 더욱 더 개선합니다. StarCell 요소는 메탄, 아르곤 및 헬륨에 대해 가장 높은 속도와 용량을 제공합니다. 표면과학, 나노 기술, 재료 과학과 같은 입자물리학 및 기타 저압 기반 연구에 적합한 이러한 펌프는 다양한 고전압 피드스루, 바디 기하학, 펌핑 요소를 사용한 맞춤형 제품 제작으로 요구를 충족할 수 있습니다.
● 이 Ion-TSP 콤비 펌프는 VacIon Plus 300으로 측면 또는 하단 장착 8인치 ConFlat 포트가 추가로 포함되어 있습니다 ● StarCell, 다이오드 또는 비활성 다이오드 요소 중에서 선택 가능하며, 최고의 비활성기체(UHV/XHV) 펌핑 속도를 제공합니다 ● ConFlat 8인치 고정형 주입구 플랜지 및 더블엔드 또는 사이드 포트 구성의 추가 8인치 ConFlat 포트를 이용할 수 있습니다 ● 극저온패널은 외경이 8인치인 ConFlat 플랜지에 장착하며, TSP 소스 장착을 위한 2.75인치 ConFlat 플랜지가 포함되어 있습니다 ● TSP 카트리지는 포함되어 있지만, 펌프 내부에 설치되어 있지는 않습니다 ● 극저온패널이 TSP의 승화된 티타늄에 제공하는 표면적이 더 넓고 원치 않는 코팅으로부터 진공 시스템을 보호합니다 ● 극저온패널은 액체 질소로 냉각하는 경우, 게터링 프로세스의 효율성을 개선하고 물 펌핑 속도를 높입니다. Water cooling과 함께 작동하지만, UHV/XHV에서 사용하는 경우에는 냉각이 필요하지 않습니다. ● 120Vac 또는 230Vac 히터를 설치한 상태에서 사용할 수 있으며 피드스루(Fischer, King, DESY, Varian, SHV 10kV(Safeconn)) 선택 가능 ● 케이블 및 컨트롤러는 별도로 구입 가능합니다
# | 제목 | 내용 |
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1 | 요소 유형 | Star Cell |
2 | 작동 수명 | 80,000시간 |
3 | 최대 베이킹 온도 | 350 °C |
4 | 최대 시작 압력 | ≤5 x 10-2 mbar |
5 | 피드스루 스타일 | Fisher |
6 | 히터 전압 | 100-120/200-240 V |
7 | 히터 전원 | 580 W |
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PDF #1 파일 : 카탈로그_Agilent_Catalog_Ion_Pumps.pdf (7.2M)
최종수정일 : 2022-01-16 15:39:20
PDF #2 파일 : 사용자 설명서_VacIon_Plus300_Combination_Pump_User_Manual.pdf (1.7M)
최종수정일 : 2022-01-16 15:39:20
관리자
2022.01.16 15:39
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