CombiTSP 500은 VacIon 500L/s 펌프, TSP 카트리지 및 TSP 극저온패널을 결합해 풋프린트는 그대로 유지하면서 펌핑 속도는 높입니다. TSP 카트리지의 게터링 속성 덕분에 초고 및 고진공(UHV/XHV) 상태로의 펌프 다운 속도가 단축되기 때문에 최종 기본 압력을 낮출 수 있습니다. 극저온패널은 흡수 가능한 가스의 펌핑 효율성을 더욱 더 개선합니다. StarCell 요소는 메탄, 아르곤 및 헬륨에 대해 가장 높은 속도와 용량을 제공합니다.

표면과학, 나노 기술, 재료 과학과 같은 입자물리학 및 기타 저압 기반 연구에 적합한 이러한 펌프는 다양한 고전압 피드스루, 바디 기하학, 펌핑 요소를 사용한 맞춤형 제품 제작으로 요구를 충족할 수 있습니다.

이 Ion-TSP 콤비 펌프는 VacIon Plus 500으로 측면 또는 하단 장착 8인치 ConFlat 포트가 추가로 포함되어 있습니다
StarCell, 다이오드 또는 비활성 다이오드 요소 중에서 선택 가능하며, 최고의 비활성기체(UHV/XHV) 펌핑 속도를 제공합니다
ConFlat 8인치 고정형 주입구 플랜지 및 더블엔드 또는 사이드 포트 구성의 추가 8인치 ConFlat 포트를 이용할 수 있습니다
극저온패널은 외경이 8인치인 ConFlat 플랜지에 장착하며, TSP 소스 장착을 위한 2.75인치 ConFlat 플랜지가 포함되어 있습니다
TSP 카트리지는 포함되어 있지만, 펌프 내부에 설치되어 있지는 않습니다
극저온패널이 TSP의 승화된 티타늄에 제공하는 표면적이 더 넓고 원치 않는 코팅으로부터 진공 시스템을 보호합니다
극저온패널은 액체 질소로 냉각하는 경우, 게터링 프로세스의 효율성을 개선하고 물 펌핑 속도를 높입니다. Water cooling과 함께 작동하지만, UHV/XHV에서 사용하는 경우에는 냉각이 필요하지 않습니다.
120Vac 또는 230Vac 히터를 설치한 상태에서 사용할 수 있으며 피드스루(Fischer, King, DESY, Varian, SHV 10kV(Safeconn)) 선택 가능
케이블 및 컨트롤러는 별도로 구입 가능합니다