[Small Diffusion Pumps] VHS-10 확산 펌프
VHS-10 확산 펌프는 최대 3650L/s의 펌핑 속도를 가지고 있으며, ASA 또는 ISO 플랜지, 표준 또는 확장 콜드캡과 함께 다양한 전압으로 주문할 수 있습니다. 특허 받은 Bulge Contour가 가스 포집량을 늘리고 낮은 압력을 유지합니다. 모든 VHS 시리즈 펌프에는 펌프 유체의 지속적인 모니터링과 간편한 유지보수를 위해 투시창/주입 및 배출 어셈블리가 있습니다. 지느러미 형태의 보일러로 표면적을 증가시켜 펌프 유체의 수명을 연장합니다. 이 Vapor Jet 펌프는 광학 렌즈, 전자 장치 및 보호 필름층을 위한 진공로, 열처리, 금속 증착 및 코팅 공정과 같은 산업 응용 분야에 적합합니다.
● 특허 받은 Bulge Contour가 가스 포집량 증대 ● 유체 레벨 투시창을 통해 펌프 유체 상태를 지속적으로 빠르게 확인 ● 주입 및 배출 어셈블리를 통해 간편하게 펌프 유체 유지보수 ● 고처리량 ● 분사 제트가 유체를 정제하여 청결한 작동 환경 제공 ● 높은 포어 압력 허용치 ● 모든 열 과부하로부터 완전한 열 보호 제공 ● 스테인리스 강 펌프 바디 ● 지느러미 형태의 보일러로 표면적을 증가시켜 펌핑유의 수명을 연장 ● 빠른 냉각 코일이 표준 사양
# | 제목 | 내용 |
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1 | Water Connections | 1/8인치 FPT |
2 | 권장 backing 펌프 | ≥ 30cfm(51m3/hr) |
3 | 냉각 시간 | 25 min |
4 | 수냉 - 온도 요구사항 | 60-80 °F 15-26 °C |
5 | 수냉 흐름 요구사항 | 0.40gpm 80L/hr |
6 | 역류 유속 | 5.0 x 10-4 mg/㎠/min |
7 | 예열 시간 | 15 min |
8 | 유체 유형 | Oil |
9 | 유체 적재량 | 1000 CC |
10 | 입력 전압 | 208, 240, 380, 480V |
# | 제목 | 내용 |
---|---|---|
11 | 작동 범위 | 1.7 x 10-3~<5 x 10-9 Torr 2.3 x 10-3~<6.5 x 10-9 mbar |
12 | 전기 요구사항 | 3ph 50/60Hz 208/240/380/480V |
13 | 최대 처리량 | 6.3T-L/s(8.4mbar-L/s) |
14 | 최대 포어 압력 - Full 로드 | 0.55 Torr 0.72 mbar |
15 | 최대 포어 압력 - 로딩 없음 | 0.65 Torr 0.85 mbar |
16 | 펌프 무게 | 150 lbs 68 kg |
17 | 펌프 전력 | 4400 W |
18 | 펌핑 속도 - Air | 3650 L/s |
19 | 펌핑 속도 - He/H2 | 4560 L/s |
20 | 펌핑 속도 - 공기, AVS 4.1(1963) | 5300 L/s |
PDF #1 파일 : 카탈로그_05_Diffusion_Pumps.pdf (4.3M)
최종수정일 : 2022-01-20 07:38:32
PDF #2 파일 : 사용자 설명서_6999-01-018B Inline VHS SightGlass Cooling Kit Field Replacement Manual[1].pdf (180.0K)
최종수정일 : 2022-01-20 07:38:32
PDF #3 파일 : 사용자 설명서_6999-03-130B Low Profile Water Cooled Baffle Instruction Manual.pdf (277.6K)
최종수정일 : 2022-01-20 07:38:32
PDF #4 파일 : 사용자 설명서_VHS-10 and VHS-400 Diffusion Pumps.pdf (2.1M)
최종수정일 : 2022-01-20 07:38:32
관리자
2022.01.20 07:38
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