[Active Gauges] FRG-700/FRG-702 풀 스케일 Pirani 반전 마그네트론 게이지
Agilent FRG-700 게이지는 3.8 x 10-9Torr부터 대기압(5 x 10-9~1013mbar)까지의 공정 및 기본 압력을 측정할 수 있는 콤팩트하고 경제적인 단일 패키지로 두 가지 측정 기술을 제공하는 풀 스케일 게이지입니다. 하나의 로그비 아날로그 출력 신호를 갖춘 콤팩트한 단일 유닛으로 설치, 설정 및 통합의 복잡성이 크게 줄어듭니다. 이 결합형 게이지는 비용 절감 및 공간 활용도 증대의 이점을 제공합니다. 금속으로 밀봉된 피드스루를 장착한 FRG-702는 FRG-700의 완전 금속 버전입니다. FRG-700(플랜지에서의 최대 온도: 55°C)보다 높은 온도(플랜지에서의 최대 온도: 150°C)에서 작동할 수 있습니다.
● 경제적이고 콤팩트한 단일 패키지로 두 가지 측정 기술 제공 ● 3.8 x 10-9Torr부터 대기압(5 x 10-9mbar부터 대기압)까지의 공정 압력 및 기본 압력 측정 가능 ● 하나의 로그비 아날로그 출력 신호를 갖춘 콤팩트한 단일 유닛은 설치, 설정 및 통합의 복잡성을 크게 감소 ● 고진공 압력 모니터링, 증착 및 스퍼터링 시스템의 기본 압력, 중/고진공 범위의 일반 진공 측정 및 제어에 이상적인 선택 ● 타버리지 않는 필라멘트 ● 우수한 점화 특성 ● 쉬운 세척 및 재조립 ● 낮은 소유 비용 ● 고압에서 켜지는 LED 표시등으로 상태를 시각적으로 빠르게 확인할 수 있음
# | 제목 | 내용 |
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1 | Accuracy | ± 30% |
2 | Analog Output | 0-10.5 VDC |
3 | Measurement Range | 5 x 10-9~1000mbar 3.8 x 10-9~760Torr |
4 | 감응 시간 | <10ms(p>10-6mbar), ≈ 1000ms(p = 10-8mbar) |
5 | 주변 작동 온도 | +5 to +55 °C |
6 | 주변 저장 온도 | -40 ~ +65 °C |
7 | 최대 베이킹 온도 | 150 °C |
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PDF #1 파일 : 브로셔_Active Gauges and Controllers Brochure.pdf (915.6K)
최종수정일 : 2022-01-22 00:59:29
PDF #2 파일 : 사용자 설명서_Inverted Magnetron Pirani Gauge Instructions.pdf (1.4M)
최종수정일 : 2022-01-22 00:59:29
PDF #3 파일 : 사용자 설명서_TQNA74E1 3 Inverted Magnetron Priani Gauge FRG-700 FRG-702 Operating Manual.pdf (2.9M)
최종수정일 : 2022-01-22 00:59:29
관리자
2022.01.22 00:59
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